天生的工程师

Natlab的工程师赫尔曼·范希克（HermanvanHeek）和吉斯·布休斯（GijsBouwhuis）在同一办公室工作，他们对芯片生产过程中产生的浪费感到震惊。

如果有人能欣赏到光刻中的工程技术，那么这个人就是哈斯霍西姆·梅耶。就像弗里茨·克洛斯特曼和爱德·鲍尔一样，梅耶知道亲手打造一些东西意味着什么。当卡西米尔在年任命他为主任时，多面手梅耶好奇地打量着他周围的机械和光学领域中的那些奇迹。空气轴承、静压轴承和亨德里克·德朗的光学测量系统：这是一座充满精密技术的金矿。梅耶很欣赏弗里茨·克洛斯特曼和爱德·鲍尔利用Natlab的发明制造出用于生产光掩模的机器。

在20世纪60年代末，梅耶利用职权重组了各科研团队。他把光刻技术从光化学小组转移到光学小组。他安排克洛斯特曼领导开发光导摄像管的小组。

年11月1日，赫尔曼·范希克和吉斯·布休斯接手了克洛斯特曼原来的工作。布休斯在德朗的光学小组已工作多年，但对范希克来说，光学是一个全新的领域。他们将一起为实验室的掩模生产团队提供科学支持。

（1）赫尔曼·范希克

赫尔曼·范希克来自一个在纺织业赚了些钱的荷兰家庭。年轻的范希克在阿姆斯特丹长大，后来搬到莱顿，他的父亲在那里找到了一份社会学教授的工作。范希克的发明家基因来自他的母亲。他母亲的家人里有3位工程师，其中包括著名的教授费利克斯·万宁·梅恩兹（FelixVeningMeinesz）——用于测量重力的光学仪器的发明者。

范希克在莱顿的大学学习物理，最后在卡末林·昂内斯实验室从事低温研究工作。他的8位前辈中有7位在飞利浦找到了工作，所以他在实验室工作结束后自然而然地给飞利浦在艾恩德霍芬的人力资源部打了电话。飞利浦人力资源部不久后便安排他与Natlab的各位总监面谈。

年，当范希克加入Natlab时，他深入研究各种课题。他将各种半导体材料放于显微镜下，研究计算机存储器，这种存储器可以替代当时仍由工人手工组装的磁芯存储器。在里奥·图莫斯的小组中，他还研究传感器，以测量大脑、心脏和肌肉的电信号。之后，他在英国的穆拉德研究实验室待了1年，在那里他组装了他的第一台仪器：一台用来测量空气污染的近红外光谱仪。回到荷兰后，他在气体放电小组的研究以失败告终。

范希克只是不适合做研究，但他是个天生的工程师。制造东西让他感到更快乐，比如他在穆拉德研究实验室制造的光谱仪。当范希克与部门总监梅耶谈论自己的不开心时，梅耶建议他申请在掩模中心新设的职位。

于是，这位科学家兼工程师最终进入了皮特·克莱默（PietKramer）领导的光学部门。范希克负责其中的一个应用部门，这个部门的主要任务就是制作光掩模。在那个年代，Natlab的每个人几乎都在微观领域工作，而掩模部门无法满足各个应用部门的巨大需求。制作掩模的日常工作主要落在助手身上。作为团队的科学代表，范希克潜心解决每天由Natlab的研究人员和工业部门的生产人员提出的特殊问题。

范希克在光学小组的第一年并不令人激动。范希克必须确保掩模部门配备最先进的仪器和技术，但光刻技术太超前了，使他几乎没有现成的东西可以用。他决定更多地了解后续的工艺：当掩模用于实际生产时，他观察到芯片制造过程实在是极其浪费。

那时，芯片大约由10层组成。每一层都需要特有的光掩模。但大约进行10次接触光刻后，掩模就会损坏并且无法再使用。这意味着，奈梅亨晶圆厂每生产一片晶圆，就会有一个掩模被扔到垃圾桶里。

但最糟糕的是，并不是每个芯片能正常工作。进行几次光刻之后，这些掩模就会出现各种差错。在飞利浦的芯片工厂中，如果每50个新设计的芯片中有一个能够工作，工厂的员工们就会很高兴。范希克认为，一定有更好的办法。这一想法驱使他在长达几个月的时间里竭力寻找替代方案。

（2）吉斯·布休斯

和范希克一样，吉斯·布休斯也不是天生的研究人员，但布休斯有着完全不同的背景。他没有接受过大学教育。年他被聘为Natlab的一名助理。

在皮特·范阿尔芬（PietVanAlphen）领导的光学小组中，布休斯可以研究光学。在光学小组的最初几年里他彻底找到了窍门。他在公司内部的工程学院上夜校，有时间就沉浸在材料研究中。他还在图书馆待了几个月，那时候在Natlab，花自己的工作时间来学习知识是完全没有问题的。他如饥似渴地学习技术和读书，不放过任何涉及光学的东西，并钻研作为光学现象基础的数学和物理知识。

在范阿尔芬和后来的德朗的带领下，他逐渐成长为Natlab著名的光学专家。他将为可以长时间播放视频的圆盘（CD光盘的前身）和光刻机做出重要贡献。

***

范希克目睹了El

转载请注明:http://www.aideyishus.com/lkgx/5962.html