薄膜式气动执行器，是一种新型、高效、高精度、长寿命的执行机构。

它由膜片组与气室组成，膜片组是气缸筒的延伸部分，在两端的端盖上装有进气阀和排气阀。

工作时压缩气体从进气口进入气室并经过节流后从出气口喷出；当关闭进气阀门时则相反。

由于采用双作用方式（即一个工作腔通入压缩空气的同时另一个工作腔通过节流孔泄掉一部分压缩空气），使执行机构的行程比一般气动执行器的行程大很多，因而其输出力相应也大得多。

这种执行器广泛应用于机床数控系统中的直线插补运动和各种机械设备的控制中。

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简介膜片式气动执行器是由多块薄型金属板用冲模压制而成的组合体.根据不同的使用要求可选用不同形状的膜片.

常用的有矩形和圆形两种.矩形膜片的两侧边缘上各有一个小孔称为中心孔；圆形膜片中有一圆孔和一个方形的边角凸缘称为压紧边角.使用时将它们相互叠合在一起构成一个整体[1]。

工作原理当接通电源后，首先启动电磁换向阀（或伺服放大器），此时主回路接通的是交流电源经线圈产生的磁场而推动活塞杆带动曲臂旋转运动；同时另一侧的气路通道也接通电磁换向阀（或伺服放大器）的工作电流而产生推力使连杆向下移动从而完成一次动作循环[2]。

特点

1、体积小重量轻结构简单

2、具有很高的灵敏度及良好的重复性

3、无磨损使用寿命长

4、易于实现远距离操作

5、可用于恶劣的环境

6、对环境温度变化适应性强

7、可实现自动调心功能

8、能承受较大的冲击

9、安装调试方便应用领域薄膜式气动执行元件广泛用于数控机床加工中心等自动化设备以及各类机器人系统中作为直线位移的执行元件