当采用STEM模式下,球差只是像差的一部分,并且会直接改变TEM的分辨率。因为瞬变电磁法又可分为一般的瞬变电磁法和利用微细结构成像的STEM,所以双球像差电子显微镜又可分为AC-瞬变电磁法(球差校正器安装在物镜位置)和聚光镜球差透射(球差校正装置安装在聚光镜位置)。另外,还有可以在一个瞬变电磁法中同时放置2个校正器,可以同时校正汇聚束和成像的双球像差校正瞬变的电磁法。

聚光镜球差透射和物镜球差透射共同点

聚光镜球差透射、物镜球差透射最大的共同点就是由于球差校正降低了像差,因而增加了清晰度。因此物镜球差透射的清晰度可以超过埃级，甚至亚埃级。分辨率的增加,意味着人们可以更"深入"的理解物质。聚光镜球差透射、物镜球差透射对于检测液体样品数量的要求也相同,都不能够检测含表面活性剂物质,液体重量也相同,都要求至少零点五毫升。

聚光镜球差透射、物镜球差透射的区别

1）STEM:在成像时,TEM和HRTEM的光照射范围均为面,而STEM则是先一点一点的扫射,之后再收集。显然,STEM中对结构的描述也比较详细。虽然STEM与常规TEM中同样具有分明区的暗场结构,但STEM中通常与HAADF(一种高角环状暗场探测器)连来获取材料的微域构造和物质位置等数据。

2）实验制样不同：STEM粉末至少3mg，TEM粉末最少5mg。

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